Петраков, Д.С.; Герасименко, Н.Н.; Медетов, Н.А.; Суюндуков, Р.А.; Жиенбаева, А.А.
(publisher of Kostanay state pedagogical university, 2020)
В статье при помощи авторского программного комплекса проводилось исследование диффузионно-барьерных слоев TiN на кремниевой подложке. В данной работе предложено использовать несколько методов исследования структур и ...